Tấm Gốm Silicon Nitride là chi tiết phẳng dùng làm tấm mòn, rào cản cách điện, khối nền mạch, tản nhiệt và bề mặt tham chiếu chính xác.
Tấm gốm silicon nitride được chọn nơi tấm chịu cả tải lẫn nhiệt, trong đồ gá hàn, khuôn ép và khuôn dập nóng. Vật liệu giữ độ bền ở nhiệt độ và kháng sốc nhiệt của tiếp xúc lặp lại với chi tiết nóng.
Silicon nitride ghép độ bền cao 700-900 MPa với độ dai 6-8 MPa·m^1/2 ở chỉ 3,2 g/cm³. Nó sống sót qua sốc nhiệt làm nứt hầu hết gốm, kháng kim loại nóng chảy màu, và hạt mịn cho phép hoàn thiện cấp bạc.
Nó thuộc nhóm tùy chọn đắt hơn, và không giống SiC, độ dẫn nhiệt khiêm tốn 25-35 W/m·K, nên được chỉ định vì độ tin cậy cơ khí thay vì tản nhiệt.
Thông số kỹ thuật
| Kích thước tối đa | đến 400×400 mm |
| Độ dày | 0,3-30 mm |
| Độ phẳng | 0,005 mm trên 100 mm |
| Độ song song | 0,01 mm |
| Độ nhẵn bề mặt | Ra 0,4 µm mài, Ra 0,2 µm mài tinh |
| Lỗ và rãnh | mài, khoan hoặc cắt laser |
| Cạnh | vuông, vát hoặc bo góc |
Thông số Silicon Nitride
| Thành phần | Silicon nitride thiêu kết áp suất khí |
| Khối lượng riêng | 3,20-3,25 g/cm³ |
| Độ cứng Vickers | 1500-1600 HV |
| Độ bền uốn | 700-900 MPa |
| Độ dai phá hủy | 6-8 MPa·m^1/2 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1000°C (1200°C ngắn hạn) |
| Độ dẫn nhiệt | 25-35 W/m·K |
| Hệ số giãn nở nhiệt (20-1000°C) | 3,2 ×10⁻⁶/K |
Gia công và dung sai
Tấm được ép hoặc đúc băng, nung, sau đó mài mặt và mài tinh. Tấm mỏng lớn dễ cong nhất, nên vật liệu được loại bỏ đều hai mặt để giữ cân bằng ứng suất, và mài được theo sau bằng bước thư giãn trước các lượt cuối.
Nơi được sử dụng
- Tấm mòn và lót máng trong xử lý rời
- Rào cản cách điện trong thiết bị đóng cắt và bộ gia nhiệt
- Tấm gia nhiệt và đồ gá ép trong sản xuất điện tử
- Bề mặt chân không và định lượng trong thiết bị bán dẫn
- Khối tham chiếu và chuẩn chính xác trong đo lường
Câu hỏi thường gặp
Một tấm gốm lớn có thể giữ phẳng đến mức nào?
0,005 mm trên 100 mm là tiêu chuẩn làm việc cho tấm mài tinh. Diện tích lớn hơn khó hơn, và trên 300×300 mm chúng tôi thường chỉ định độ phẳng trên một khu vực xác định thay vì toàn tấm.
Nó có bị cong khi tôi siết bulông không?
Có thể. Một tấm phẳng khi tháo kẹp sẽ theo bề mặt lắp bị biến dạng, nên chúng tôi khuyên bề mặt lắp có rãnh hoặc mài tinh, bulông siết đều và lớp đệm đàn hồi.