Plat Nitrid Silikon ialah komponen rata yang digunakan sebagai plat haus, halangan penebat, blok substrat, penyebar haba dan permukaan rujukan ketepatan.
Plat Nitrid Silikon dipilih di mana plat memikul beban serta haba, dalam kelengkapan kimpalan, perkakas tekan dan mati pembentukan panas. Bahan mengekalkan kekuatan pada suhu dan menahan kejutan terma sentuhan berulang dengan kerja panas.
Silikon nitrid menggandingkan kekuatan tinggi 700-900 MPa dengan keretanan patah 6-8 MPa·m½ pada ketumpatan hanya 3.2 g/cm³. Ia bertahan kejutan terma yang meretakkan kebanyakan seramik, menahan logam leburan bukan ferus, dan butiran halusnya membenarkan kemasan gred galas.
Ia antara pilihan lebih mahal, dan tidak seperti SiC, kekonduksian termanya hanya 25-35 W/m·K, jadi ia dinyatakan untuk kebolehpercayaan mekanikal bukan penyebaran haba.
Spesifikasi
| Saiz maksimum | hingga 400×400 mm |
| Ketebalan | 0.3-30 mm |
| Kekapalan | 0.005 mm per 100 mm |
| Keselarian | 0.01 mm |
| Kekasaran permukaan | Ra 0.4 µm digiling, Ra 0.2 µm dilap |
| Lubang dan alur | digiling, ditebuk atau dipotong laser |
| Tepi | siku, chamfer atau berjejari |
Spesifikasi Silicon Nitride
| Komposisi | Silikon nitrid tersinter tekanan gas |
| Ketumpatan | 3.20-3.25 g/cm³ |
| Kekerasan Vickers | 1500-1600 HV |
| Kekuatan lentur | 700-900 MPa |
| Keretanan patah | 6-8 MPa·m½ |
| Suhu perkhidmatan maksimum | 1000°C (1200°C jangka pendek) |
| Kekonduksian terma | 25-35 W/m·K |
| Pengembangan terma (20-1000°C) | 3.2 ×10⁻⁶/K |
Pemesinan dan toleransi
Plat ditekan atau dicurah tape, dibakar, kemudian digiling permukaan dan dilap. Plat nipis besar paling cenderung melengkung, jadi bahan dibuang dalam jumlah sama dari kedua-dua muka untuk mengekalkan tegasan seimbang, dan pengilangan diikuti langkah relaksasi sebelum laluan akhir.
Di mana ia digunakan
- Plat haus dan pelapik palung dalam pengendalian pukal
- Halangan penebat elektrik dalam peralatan suis dan pemanas
- Plat panas dan perkakas tekan dalam pembuatan elektronik
- Permukaan vakum chuck dan metrik dalam peralatan semikonduktor
- Blok rujukan dan tolok ketepatan dalam metrologi
Soalan lazim
Sejauh manakah plat seramik besar boleh dikekalkan rata?
0.005 mm per 100 mm ialah standard kerja untuk plat yang dilap. Kawasan lebih besar lebih sukar, dan melebihi 300×300 mm kami lazimnya menentukan kekapalan ke atas kawasan tertentu dan bukannya seluruh plat.
Adakah ia akan melengkung bila saya bautkan?
Boleh. Plat yang rata bila tidak diapit akan mengikuti muka pemasangan yang terpesong, jadi kami syorkan permukaan pemasangan yang dilegakan atau dilap, pemasangan ditork secara sekata dan lapisan sederhana.