Tấm Gốm Boron Nitride là chi tiết phẳng dùng làm tấm mòn, rào cản cách điện, khối nền mạch, tản nhiệt và bề mặt tham chiếu chính xác.
Tấm gốm boron nitride dùng làm tấm giải phóng, lót nồi và cách điện lò chân không. Kim loại nóng chảy không làm ướt chúng, và vì vật liệu có thể gia công nên các tấm này thường được khoan và tạo hình tại xưởng của khách hàng.
Boron nitride ép nóng là gốm mềm nhất ở đây, xấp xỉ Mohs 2, và là loại có thể gia công bằng dụng cụ carbide thông thường. Nó trơ với kim loại nóng chảy hầu như không bám dính, ổn định đến 1000°C trong không khí và 2000°C trong môi trường trơ, đồng thời vẫn là vật cách điện.
Dạng ép nóng có độ bền uốn thấp 60-100 MPa và bị ẩm tấn công chậm, nên dùng nơi giải phóng, cách điện hoặc tương thích chân không quan trọng hơn chịu tải.
Thông số kỹ thuật
| Kích thước tối đa | đến 400×400 mm |
| Độ dày | 0,3-30 mm |
| Độ phẳng | 0,005 mm trên 100 mm |
| Độ song song | 0,01 mm |
| Độ nhẵn bề mặt | Ra 0,4 µm mài, Ra 0,2 µm mài tinh |
| Lỗ và rãnh | mài, khoan hoặc cắt laser |
| Cạnh | vuông, vát hoặc bo góc |
Thông số Boron Nitride
| Thành phần | Boron nitride lục giác ép nóng |
| Khối lượng riêng | 2,00-2,20 g/cm³ |
| Độ cứng Vickers | 200-300 HV (Mohs ~2) |
| Độ bền uốn | 60-100 MPa |
| Độ dai phá hủy | 2-3 MPa·m^1/2 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1000°C trong không khí, 2000°C trơ |
| Độ dẫn nhiệt | 30-60 W/m·K (trong mặt phẳng) |
| Hệ số giãn nở nhiệt (20-1000°C) | 1-3 ×10⁻⁶/K |
Gia công và dung sai
Tấm được ép hoặc đúc băng, nung, sau đó mài mặt và mài tinh. Tấm mỏng lớn dễ cong nhất, nên vật liệu được loại bỏ đều hai mặt để giữ cân bằng ứng suất, và mài được theo sau bằng bước thư giãn trước các lượt cuối.
Nơi được sử dụng
- Tấm mòn và lót máng trong xử lý rời
- Rào cản cách điện trong thiết bị đóng cắt và bộ gia nhiệt
- Tấm gia nhiệt và đồ gá ép trong sản xuất điện tử
- Bề mặt chân không và định lượng trong thiết bị bán dẫn
- Khối tham chiếu và chuẩn chính xác trong đo lường
Câu hỏi thường gặp
Một tấm gốm lớn có thể giữ phẳng đến mức nào?
0,005 mm trên 100 mm là tiêu chuẩn làm việc cho tấm mài tinh. Diện tích lớn hơn khó hơn, và trên 300×300 mm chúng tôi thường chỉ định độ phẳng trên một khu vực xác định thay vì toàn tấm.
Nó có bị cong khi tôi siết bulông không?
Có thể. Một tấm phẳng khi tháo kẹp sẽ theo bề mặt lắp bị biến dạng, nên chúng tôi khuyên bề mặt lắp có rãnh hoặc mài tinh, bulông siết đều và lớp đệm đàn hồi.