Керамические пластины Boron Nitride — плоские детали, используемые как износостойкие пластины, изолирующие барьеры, заготовки подложек, распределители тепла и прецизионные опорные поверхности.
Пластины Boron Nitride применяют как антиадгезионные пластины, футеровку тиглей и изоляторы вакуумных печей. Расплавленный металл не смачивает их, а поскольку материал обрабатываемый, эти пластины часто сверлят и формируют в собственной мастерской заказчика.
Прессованный в горячем состоянии Boron Nitride — самая мягкая из представленных керамик (примерно 2 по шкале Мооса) и единственная, которую можно обрабатывать обычным твердосплавным инструментом. Она химически инертна к расплавленным металлам, почти не смачивающим её, стабильна до 1000°C на воздухе и до 2000°C в инертных средах и остаётся электрическим изолятором.
Её прессованная в горячем состоянии форма обладает низкой прочностью на изгиб 60-100 MPa и медленно разрушается влагой, поэтому её применяют там, где важнее антиадгезионные свойства, изоляция или совместимость с вакуумом, чем несущая способность.
Характеристики
| Максимальный размер | up to 400×400 mm |
| Толщина | 0.3-30 mm |
| Плоскостность | 0.005 mm per 100 mm |
| Параллельность | 0.01 mm |
| Шероховатость поверхности | Ra 0.4 µm ground, Ra 0.2 µm lapped |
| Отверстия и пазы | ground, drilled or laser cut |
| Кромки | square, chamfered or radiused |
ХарактеристикиBoron Nitride
| Состав | Hot-pressed hexagonal boron nitride |
| Плотность | 2.00-2.20 g/cm³ |
| Твёрдость по Виккерсу | 200-300 HV (Mohs approx. 2) |
| Прочность на изгиб | 60-100 MPa |
| Вязкость разрушения | 2-3 MPa·m½ |
| Максимальная рабочая температура | 1000°C in air, 2000°C inert |
| Теплопроводность | 30-60 W/m·K (in-plane) |
| Тепловое расширение (20-1000°C) | 1-3 ×10⁻⁶/K |
Обработка и допуски
Пластины прессуют или формуют литьём ленты, обжигают, затем плоско шлифуют и доводят. Тонкие крупные пластины наиболее склонны к короблению, поэтому материал снимают в равных количествах с обеих поверхностей для сохранения баланса напряжений, а шлифование сопровождается этапом релаксации перед финишными проходами.
Области применения
- Износостойкие пластины и футеровки жёлобов в сыпучей обработке
- Электроизоляционные барьеры в распределительных устройствах и нагревателях
- Нагревательные плиты и штамповая оснастка в производстве электроники
- Вакуумные патроны и измерительные поверхности в полупроводниковом оборудовании
- Прецизионные опорные и калибровочные блоки в метрологии
Часто задаваемые вопросы
Насколько плоской можно удержать крупную керамическую пластину?
0.005 mm на 100 mm — рабочий стандарт для доведённых пластин. Большие площади сложнее, и выше 300×300 mm мы обычно задаём плоскостность на определённой площади, а не по всей пластине.
Поведёт ли её, когда я затяну болтами?
Может. Пластина, плоская в свободном состоянии, повторит искажённую монтажную поверхность, поэтому мы рекомендуем облегчённую или доведённую монтажную поверхность, равномерно затянутые крепления и компенсирующий промежуточный слой.