Tấm Gốm Silicon Carbide là chi tiết phẳng dùng làm tấm mòn, rào cản cách điện, khối nền mạch, tản nhiệt và bề mặt tham chiếu chính xác.
Tấm gốm silicon carbide phục vụ làm đồ gá lò, tấm đốt và lót mòn trên 1200°C. Sự kết hợp độ dẫn cao và giãn nở thấp cho phép tấm chịu ngọn lửa trực tiếp một mặt mà không cong vênh hay nứt.
Silicon carbide được chọn khi một chi tiết phải sống sót qua mài mòn, nhiệt độ cao và sốc nhiệt cùng lúc. Độ cứng đạt 2200-2500 HV, độ dẫn nhiệt 120-200 W/m·K gấp nhiều lần thép, và giãn nở 4,0 ×10⁻⁶/K giữ nó ổn hình qua các thay đổi nhiệt độ nhanh.
Nó giòn và bán dẫn về điện, nên không dùng nơi cách điện quan trọng, và độ cứng khiến mài kim cương là con đường hoàn thiện duy nhất khả thi.
Thông số kỹ thuật
| Kích thước tối đa | đến 400×400 mm |
| Độ dày | 0,3-30 mm |
| Độ phẳng | 0,005 mm trên 100 mm |
| Độ song song | 0,01 mm |
| Độ nhẵn bề mặt | Ra 0,4 µm mài, Ra 0,2 µm mài tinh |
| Lỗ và rãnh | mài, khoan hoặc cắt laser |
| Cạnh | vuông, vát hoặc bo góc |
Thông số Silicon Carbide
| Thành phần | Silicon carbide thiêu kết (SSiC) |
| Khối lượng riêng | 3,10-3,15 g/cm³ |
| Độ cứng Vickers | 2200-2500 HV |
| Độ bền uốn | 400-500 MPa |
| Độ dai phá hủy | 3-4 MPa·m^1/2 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1400°C trong không khí (1600°C trơ) |
| Độ dẫn nhiệt | 120-200 W/m·K |
| Hệ số giãn nở nhiệt (20-1000°C) | 4,0 ×10⁻⁶/K |
Gia công và dung sai
Tấm được ép hoặc đúc băng, nung, sau đó mài mặt và mài tinh. Tấm mỏng lớn dễ cong nhất, nên vật liệu được loại bỏ đều hai mặt để giữ cân bằng ứng suất, và mài được theo sau bằng bước thư giãn trước các lượt cuối.
Nơi được sử dụng
- Tấm mòn và lót máng trong xử lý rời
- Rào cản cách điện trong thiết bị đóng cắt và bộ gia nhiệt
- Tấm gia nhiệt và đồ gá ép trong sản xuất điện tử
- Bề mặt chân không và định lượng trong thiết bị bán dẫn
- Khối tham chiếu và chuẩn chính xác trong đo lường
Câu hỏi thường gặp
Một tấm gốm lớn có thể giữ phẳng đến mức nào?
0,005 mm trên 100 mm là tiêu chuẩn làm việc cho tấm mài tinh. Diện tích lớn hơn khó hơn, và trên 300×300 mm chúng tôi thường chỉ định độ phẳng trên một khu vực xác định thay vì toàn tấm.
Nó có bị cong khi tôi siết bulông không?
Có thể. Một tấm phẳng khi tháo kẹp sẽ theo bề mặt lắp bị biến dạng, nên chúng tôi khuyên bề mặt lắp có rãnh hoặc mài tinh, bulông siết đều và lớp đệm đàn hồi.