Plat Karbida Silikon ialah komponen rata yang digunakan sebagai plat haus, halangan penebat, blok substrat, penyebar haba dan permukaan rujukan ketepatan.
Plat Karbida Silikon berkhidmat sebagai perabot relau, plat pembakar dan pelapik haus melebihi 1200°C. Gabungan kekonduksian tinggi dan pengembangan rendah membenarkan plat menerima nyala langsung pada satu muka tanpa melengkung atau retak.
Silikon karbida dipilih apabila sesebuah bahagian mesti bertahan geseran, suhu tinggi dan kejutan terma serentak. Kekerasannya mencecah 2200-2500 HV, kekonduksian terma 120-200 W/m·K beberapa kali ganda keluli, dan pengembangan 4.0 ×10⁻⁶/K mengekalkannya berbentuk melalui ayunan suhu pantas.
Ia rapuh dan separa konduktor elektrik, jadi ia tidak digunakan di mana pengasingan elektrik penting, dan kekerasanannya menjadikan pengisaran berlian satu-satunya laluan kemasan praktikal.
Spesifikasi
| Saiz maksimum | hingga 400×400 mm |
| Ketebalan | 0.3-30 mm |
| Kekapalan | 0.005 mm per 100 mm |
| Keselarian | 0.01 mm |
| Kekasaran permukaan | Ra 0.4 µm digiling, Ra 0.2 µm dilap |
| Lubang dan alur | digiling, ditebuk atau dipotong laser |
| Tepi | siku, chamfer atau berjejari |
Spesifikasi Silicon Carbide
| Komposisi | Silikon karbida tersinter (SSiC) |
| Ketumpatan | 3.10-3.15 g/cm³ |
| Kekerasan Vickers | 2200-2500 HV |
| Kekuatan lentur | 400-500 MPa |
| Keretanan patah | 3-4 MPa·m½ |
| Suhu perkhidmatan maksimum | 1400°C di udara (1600°C lengai) |
| Kekonduksian terma | 120-200 W/m·K |
| Pengembangan terma (20-1000°C) | 4.0 ×10⁻⁶/K |
Pemesinan dan toleransi
Plat ditekan atau dicurah tape, dibakar, kemudian digiling permukaan dan dilap. Plat nipis besar paling cenderung melengkung, jadi bahan dibuang dalam jumlah sama dari kedua-dua muka untuk mengekalkan tegasan seimbang, dan pengilangan diikuti langkah relaksasi sebelum laluan akhir.
Di mana ia digunakan
- Plat haus dan pelapik palung dalam pengendalian pukal
- Halangan penebat elektrik dalam peralatan suis dan pemanas
- Plat panas dan perkakas tekan dalam pembuatan elektronik
- Permukaan vakum chuck dan metrik dalam peralatan semikonduktor
- Blok rujukan dan tolok ketepatan dalam metrologi
Soalan lazim
Sejauh manakah plat seramik besar boleh dikekalkan rata?
0.005 mm per 100 mm ialah standard kerja untuk plat yang dilap. Kawasan lebih besar lebih sukar, dan melebihi 300×300 mm kami lazimnya menentukan kekapalan ke atas kawasan tertentu dan bukannya seluruh plat.
Adakah ia akan melengkung bila saya bautkan?
Boleh. Plat yang rata bila tidak diapit akan mengikuti muka pemasangan yang terpesong, jadi kami syorkan permukaan pemasangan yang dilegakan atau dilap, pemasangan ditork secara sekata dan lapisan sederhana.