แผ่นและจานเซรามิกเป็นชิ้นส่วนราบที่ใช้เป็นแผ่นสึกหรอ กำแพงกั้นฉนวน บล็อกฐานวงจร กระจายความร้อน และพื้นผิวอ้างอิงความแม่นยำ
แผ่นคาร์ไบด์ซิลิคอนให้บริการเป็นเฟอร์นิเจอร์เตา แผ่นเตาเผา และแผ่นบุสึกหรอเหนือ 1200°C การรวมกันของการนำความร้อนสูงและการขยายตัวต่ำทำให้แผ่นรับเปลวไฟโดยตรงที่หนึ่งหน้าโดยไม่บิดหรือแตก
คาร์ไบด์ซิลิคอนถูกเลือกเมื่อชิ้นส่วนต้องทนต่อการสึกหรอ ความร้อนสูง และการกระแทกทางความร้อนพร้อมกัน ความแข็งของมันถึง 2200-2500 HV การนำความร้อน 120-200 W/m·K หลายเท่าของเหล็ก และการขยายตัว 4.0 ×10⁻⁶/K คงรูปผ่านการแกว่งของอุณหภูมิอย่างรวดเร็ว
มันเปราะและกึ่งตัวนำไฟฟ้า ดังนั้นจึงไม่ใช้ในที่ที่การแยกทางไฟฟ้าสำคัญ และความแข็งทำให้การเจียระไนเพชรเป็นเส้นทางแต่งผิวทางปฏิบัติเพียงหนึ่งเดียว
ข้อมูลจำเพาะ
| ขนาดสูงสุด | ถึง 400×400 mm |
| ความหนา | 0.3-30 mm |
| ความราบ | 0.005 mm ต่อ 100 mm |
| ความขนาน | 0.01 mm |
| ผิวสำเร็จ | Ra 0.4 µm เจียระไน, Ra 0.2 µm ขัด |
| รูและร่อง | เจียระไน เจาะ หรือตัดเลเซอร์ |
| ขอบ | ฉาก เฉือนมุม หรือปัดมุม |
ข้อมูลจำเพาะ Silicon Carbide
| องค์ประกอบ | คาร์ไบด์ซิลิคอนเชื่อมประสาน (SSiC) |
| ความหนาแน่น | 3.10-3.15 g/cm³ |
| ความแข็ง Vickers | 2200-2500 HV |
| ความแข็งแรงดัด | 400-500 MPa |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 3-4 MPa·m½ |
| อุณหภูมิการใช้งานสูงสุด | 1400°C ในอากาศ (1600°C เฉื่อย) |
| การนำความร้อน | 120-200 W/m·K |
| การขยายตัวทางความร้อน (20-1000°C) | 4.0 ×10⁻⁶/K |
การกลึงและความทนทาน
แผ่นถูกอัดหรือหล่อแบบเทป เผา จากนั้นเจียระไนผิวและขัด การเจียระไนแบบบางใหญ่มีแนวโน้มที่จะโก่งมากที่สุด ดังนั้นวัสดุจึงถูกเอาออกในปริมาณเท่ากันจากทั้งสองหน้าเพื่อรักษาสมดุลความเค้น และการเจียระไนตามด้วยขั้นตอนการผ่อนคลายก่อนรอบสุดท้าย
ที่ที่ใช้งาน
- แผ่นสึกหรอและบู่ร่องในงานจัดการแบล็ก
- กำแพงกั้นฉนวนไฟฟ้าในอุปกรณ์สวิตช์และเครื่องทำความร้อน
- แผ่นร้อนและเครื่องมืออัดในงานผลิตอิเล็กทรอนิกส์
- พื้นผิวสุญญากาศและการวัดในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
- บล็อกอ้างอิงและเกณฑ์ความแม่นยำในงานวัด
คำถามที่พบบ่อย
แผ่นเซรามิกใหญ่สามารถรักษาความราบได้มากแค่ไหน?
0.005 mm ต่อ 100 mm คือมาตรฐานการทำงานสำหรับแผ่นที่ขัด เมื่อพื้นที่ใหญ่กว่ายากขึ้น และเกิน 300×300 mm เรามักระบุความราบเหนือพื้นที่ที่กำหนดแทนที่จะตลอดทั้งแผ่น
มันจะโก่งเมื่อฉันขันสลักหรือไม่?
ได้ แผ่นที่ราบเมื่อไม่ถูกหนีบจะตามพื้นผิวติดตั้งที่บิดเบี้ยว ดังนั้นเราจึงแนะนำพื้นผิวติดตั้งที่เว้า หรือขัด ยึดแน่นด้วยแรงบิดสม่ำเสมอ และชั้นรองรับยืดหยุ่น
