Precision ceramic components supplied to drawing — available across our advanced technical ceramic materials.
Вилка, или манипулятор с захватом на конце, усаживает пластину на патрон. Плоскостность выдерживается до 0.01 mm, контактная поверхность отполирована.
View component →Рука-манипулятор переносит пластину wafer между станциями, поэтому она должна быть жёсткой, лёгкой и стабильной по размерам в вакууме и при рабочей температуре. Плоскостность выдерживается до 0.01 mm, контактная поверхность отполирована.
View component →Пальцы — это элементы, касающиеся края или нижней стороны пластины. Плоскостность выдерживается до 0.01 mm, контактная поверхность отполирована.
View component →
