Precision ceramic components supplied to drawing — available across our advanced technical ceramic materials.
Lengan pengendalian membawa wafer antara stesen, jadi ia mesti kaku, ringan dan stabil secara dimensi dalam vakum dan pada suhu proses. Kekapalan dikekalkan hingga 0.01 mm, permukaan sentuhan digilap.
View component →Jari ialah elemen yang menyentuh tepi atau bahagian bawah wafer. Kekapalan dikekalkan hingga 0.01 mm, permukaan sentuhan digilap.
View component →Garfu, atau penggerak kesan hujung, mendudukkan wafer pada chuck. Kekapalan dikekalkan hingga 0.01 mm, permukaan sentuhan digilap.
View component →
