Рука-манипулятор обработки wafer поднимают, удерживают и перемещают кремниевые пластины внутри технологического оборудования. Они работают в вакууме или контролируемой атмосфере, при температуре и в контакте с поверхностью, нетерпимой к загрязнению.
Рука-манипулятор переносит пластину wafer между станциями, поэтому она должна быть жёсткой, лёгкой и стабильной по размерам в вакууме и при рабочей температуре. Мы выдерживаем базу крепления и положение наконечника совместно, поскольку рука, прогибающаяся под нагрузкой, меняет место посадки пластины.
Alumina — стандартная конструкционная керамика. Она сочетает высокую твёрдость (1500-1700 HV) с хорошей электрической изоляцией и химической инертностью при меньшей стоимости по сравнению с большинством технических керамик, а в чистоте 99.8% сохраняет прочность до 1700°C, сопротивляясь большинству кислот, щелочей и растворителей.
Это не самый вязкий вариант. При вязкости разрушения 3-4 MPa·m½ острый удар или точечная нагрузка могут сколоть кромку, поэтому фаски и радиусы должны быть заложены в чертёж с самого начала.
Характеристики
| Типы | end effectors, arms, forks, fingers, boats |
| Размеры пластин | 100, 150, 200 and 300 mm |
| Плоскостность | to 0.01 mm |
| Контактные поверхности | polished, Ra 0.2 µm or better |
| Состояние кромок | radiused, free of chipping |
| Чистота | cleaned and packed for cleanroom entry |
| Атмосфера | vacuum, inert or high-temperature oxidising |
ХарактеристикиAlumina
| Состав | Aluminium oxide, 96% / 99.5% / 99.8% |
| Плотность | 3.70-3.95 g/cm³ |
| Твёрдость по Виккерсу | 1500-1700 HV |
| Прочность на изгиб | 300-400 MPa |
| Вязкость разрушения | 3-4 MPa·m½ |
| Максимальная рабочая температура | 1500°C (99.8%: 1700°C) |
| Теплопроводность | 25-35 W/m·K |
| Тепловое расширение (20-1000°C) | 8.0 ×10⁻⁶/K |
Обработка и допуски
Детали обработки шлифуют из мелкозернистой заготовки и доводят до контролируемой поверхности, с радиусными кромками и очищенными для вакуумной службы всеми поверхностями. Мы уделяем особое внимание контактным поверхностям, поскольку шероховатая контактная поверхность — одновременно источник частиц и место износа самой пластины.
Области применения
- Манипуляторы с захватом на конце и вилки для роботов переноса пластин
- Руки-манипуляторы и подъёмные штифты в установках CVD, PVD и диффузии
- Лодочки и носители для печной обработки
- Заготовки патронов и электростатических патронов
- Изолирующие крепления и экраны внутри рабочих камер
Часто задаваемые вопросы
Какой материал выбрать для детали обработки пластин?
Alumina для общей обработки и электрической изоляции, Silicon Carbide там, где важны жёсткость и теплопроводность, и Silicon Nitride там, где деталь испытывает термоциклирование или контактные напряжения. Выбор зависит от атмосферы установки и температуры.
Можете ли вы поставить детали, очищенные для чистых помещений?
Да. Детали очищаются, проверяются на сколы кромок и упаковываются для входа в чистое помещение, и мы можем предоставить сертификат на материал по запросу.