Tấm Gốm Aluminum Nitride là chi tiết phẳng dùng làm tấm mòn, rào cản cách điện, khối nền mạch, tản nhiệt và bề mặt tham chiếu chính xác.
Tấm gốm aluminium nitride là tản nhiệt. Chúng nằm dưới linh kiện công suất và tản nhiệt nơi tấm phải dời nhiệt đi trong khi vẫn cách điện, và là thay thế tiêu chuẩn cho oxit beryli trong vai trò này.
Aluminium nitride là gốm quản lý nhiệt. Độ dẫn 170-200 W/m·K ngang hàng kim loại trong khi vật liệu vẫn cách điện, và giãn nở 4,5 ×10⁻⁶/K gần với silicon, nên là nền tảng cho các substrate điện tử công suất.
Nó suy giảm trong điều kiện ẩm hoặc kiềm trừ khi được bảo vệ, độ bền uốn 300-350 MPa chỉ ở mức trung bình, và đắt hơn đáng kể so với alumina.
Thông số kỹ thuật
| Kích thước tối đa | đến 400×400 mm |
| Độ dày | 0,3-30 mm |
| Độ phẳng | 0,005 mm trên 100 mm |
| Độ song song | 0,01 mm |
| Độ nhẵn bề mặt | Ra 0,4 µm mài, Ra 0,2 µm mài tinh |
| Lỗ và rãnh | mài, khoan hoặc cắt laser |
| Cạnh | vuông, vát hoặc bo góc |
Thông số Aluminium Nitride
| Thành phần | Nhôm nitride |
| Khối lượng riêng | 3,26 g/cm³ |
| Độ cứng Vickers | 1100-1200 HV |
| Độ bền uốn | 300-350 MPa |
| Độ dai phá hủy | 2,5-3,5 MPa·m^1/2 |
| Nhiệt độ làm việc tối đa | 1000°C |
| Độ dẫn nhiệt | 170-200 W/m·K |
| Hệ số giãn nở nhiệt (20-1000°C) | 4,5 ×10⁻⁶/K |
Gia công và dung sai
Tấm được ép hoặc đúc băng, nung, sau đó mài mặt và mài tinh. Tấm mỏng lớn dễ cong nhất, nên vật liệu được loại bỏ đều hai mặt để giữ cân bằng ứng suất, và mài được theo sau bằng bước thư giãn trước các lượt cuối.
Nơi được sử dụng
- Tấm mòn và lót máng trong xử lý rời
- Rào cản cách điện trong thiết bị đóng cắt và bộ gia nhiệt
- Tấm gia nhiệt và đồ gá ép trong sản xuất điện tử
- Bề mặt chân không và định lượng trong thiết bị bán dẫn
- Khối tham chiếu và chuẩn chính xác trong đo lường
Câu hỏi thường gặp
Một tấm gốm lớn có thể giữ phẳng đến mức nào?
0,005 mm trên 100 mm là tiêu chuẩn làm việc cho tấm mài tinh. Diện tích lớn hơn khó hơn, và trên 300×300 mm chúng tôi thường chỉ định độ phẳng trên một khu vực xác định thay vì toàn tấm.
Nó có bị cong khi tôi siết bulông không?
Có thể. Một tấm phẳng khi tháo kẹp sẽ theo bề mặt lắp bị biến dạng, nên chúng tôi khuyên bề mặt lắp có rãnh hoặc mài tinh, bulông siết đều và lớp đệm đàn hồi.