ชิ้นส่วนเซรามิกจัดการเวเฟอร์ยก ถือ และถ่ายโอนเวเฟอร์ซิลิกอนภายในเครื่องมือกระบวนการ มันทำงานในสุญญากาศหรือบรรยากาศที่ควบคุม ที่อุณหภูมิ และสัมผัสกับพื้นผิวที่ไม่สามารถทนต่อการปนเปื้อน
นิ้วคือองค์ประกอบที่สัมผัสขอบหรือด้านล่างของเวเฟอร์ ทุกพื้นผิวสัมผัสถูกขัดเงาและทุกขอบปัดมุม เพราะนิ้วที่แตกเป็นรอยหรือหยาบสร้างอนุภาคที่ห้องสะอาดไม่สามารถทนได้และทำเครื่องหมายบนเวเฟอร์ที่มันถือ
อะลูมินาเป็นเซรามิกวิศวกรรมมาตรฐาน มันรวมความแข็งสูง (1500-1700 HV) เข้ากับการเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ดีและความเฉื่อยทางเคมีในต้นทุนที่ต่ำกว่าเซรามิกเทคนิคส่วนใหญ่ และที่ความบริสุทธิ์ 99.8% มันรักษาความแข็งแรงได้ถึง 1700°C ขณะเดียวกันก็ทนต่อกรด ด่าง และตัวทำละลายส่วนใหญ่
มันไม่ใช่วัสดุที่แข็งแกร่งที่สุด เมื่อความเปราะแตกหักอยู่ที่ 3-4 MPa·m½ แรงกระแทกที่แหลมหรือภาระที่ตกกระแทกจะทำให้ขอบแตกออก ดังนั้นจึงต้องมีการเฉือนและรัศมีมุมในแบบตั้งแต่ต้น
ข้อมูลจำเพาะ
| ประเภท | ตัวกระทำผลลัพธ์ปลาย เพลา แกน สับ สวน |
| ขนาดเวเฟอร์ | 100, 150, 200 และ 300 mm |
| ความราบ | ถึง 0.01 mm |
| พื้นผิวสัมผัส | ขัดเงา, Ra 0.2 µm หรือดีกว่า |
| สภาพขอบ | ปัดมุม ปราศจากรอยบิ่น |
| ความสะอาด | ทำความสะอาดและบรรจุสำหรับห้องสะอาด |
| บรรยากาศ | สุญญากาศ เฉื่อย หรือออกซิเดชันอุณหภูมิสูง |
ข้อมูลจำเพาะ Alumina
| องค์ประกอบ | อะลูมิเนียมออกไซด์, 96% / 99.5% / 99.8% |
| ความหนาแน่น | 3.70-3.95 g/cm³ |
| ความแข็ง Vickers | 1500-1700 HV |
| ความแข็งแรงดัด | 300-400 MPa |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 3-4 MPa·m½ |
| อุณหภูมิการใช้งานสูงสุด | 1500°C (99.8%: 1700°C) |
| การนำความร้อน | 25-35 W/m·K |
| การขยายตัวทางความร้อน (20-1000°C) | 8.0 ×10⁻⁶/K |
การกลึงและความทนทาน
ชิ้นส่วนจัดการถูกเจียระไนจากวัตถุดิบเม็ดละเอียดและแต่งผิวให้ถึงพื้นผิวที่ควบคุมได้ ด้วยขอบปัดมุมและทุกพื้นผิวถูกทำความสะอาดสำหรับงานสุญญากาศ เราให้ความสนใจพิเศษกับพื้นผิวสัมผัส เพราะพื้นผิวสัมผัสที่หยาบเป็นทั้งแหล่งอนุภาคและจุดสึกหรอบนเวเฟอร์เอง
ที่ที่ใช้งาน
- ตัวกระทำผลลัพธ์ปลายและสับสำหรับหุ่นยนต์ถ่ายโอนเวเฟอร์
- เพลาจัดการและหมุดยกในเครื่องมือ CVD, PVD และการแพร่
- เรือและตัวพาในงานในเตาเผา
- บล็อกชักและชักไฟฟ้าสถิต
- ตัวหน่วงฉนวนและเกราะในห้องกระบวนการ
คำถามที่พบบ่อย
ฉันควรเลือกวัสดุใดสำหรับชิ้นส่วนจัดการเวเฟอร์?
อะลูมินาสำหรับการจัดการทั่วไปและการแยกไฟฟ้า คาร์ไบด์ซิลิคอนเมื่อความแข็งแกร่งและการนำความร้อนสำคัญ และไนไตรด์ซิลิคอนเมื่อชิ้นส่วนเห็นวัฏจักรความร้อนหรือความเค้นสัมผัส การเลือกขึ้นอยู่กับบรรยากาศเครื่องมือและอุณหภูมิ
คุณสามารถจัดหาชิ้นส่วนที่ทำความสะอาดสำหรับห้องสะอาดได้หรือไม่?
ได้ ชิ้นส่วนถูกทำความสะอาด ตรวจสอบรอยบิ่นขอบ และบรรจุสำหรับห้องสะอาด และเราสามารถจัดหาใบรับรองวัสดุตามคำขอ