แผ่นและจานเซรามิกเป็นชิ้นส่วนราบที่ใช้เป็นแผ่นสึกหรอ กำแพงกั้นฉนวน บล็อกฐานวงจร กระจายความร้อน และพื้นผิวอ้างอิงความแม่นยำ
แผ่นซิลิกาบริสุทธิ์ถูกใช้สำหรับการส่งผ่านรังสี UV ช่องมอง และพื้นผิวอ้างอิงการขยายตัวต่ำ การขยายตัว 0.5 ×10⁻⁶/K รักษาแผ่นให้ราบผ่านการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิที่จะบิดเบี้ยวเซรามิกอื่น
ซิลิกาบริสุทธิ์ขยายตัวเพียง 0.5 ×10⁻⁶/K ดังนั้นจึงสามารถเปลี่ยนจากสีแดงร้อนไปยังน้ำเย็นโดยไม่แตก มันเป็นฉนวนไฟฟ้าที่ยอดเยี่ยม ส่งผ่านรังสี UV และโครงสร้างอสัณฐานให้ผิวเรียบไม่มีรูพรุน
ความแข็งแรงต่ำสำหรับเซรามิกที่ 50-70 MPa และวัสดุค่อนข้างนุ่ม เมื่อเกิน 1000°C มันเริ่มตกผลึก (devitrify) สูญเสียทั้งความโปร่งแสงและความต้านทานการกระแทกทางความร้อน
ข้อมูลจำเพาะ
| ขนาดสูงสุด | ถึง 400×400 mm |
| ความหนา | 0.3-30 mm |
| ความราบ | 0.005 mm ต่อ 100 mm |
| ความขนาน | 0.01 mm |
| ผิวสำเร็จ | Ra 0.4 µm เจียระไน, Ra 0.2 µm ขัด |
| รูและร่อง | เจียระไน เจาะ หรือตัดเลเซอร์ |
| ขอบ | ฉาก เฉือนมุม หรือปัดมุม |
ข้อมูลจำเพาะ Fused Silica
| องค์ประกอบ | ซิลิกอนไดออกไซด์แบบอสัณฐาน |
| ความหนาแน่น | 2.20 g/cm³ |
| ความแข็ง Vickers | 600-800 HV |
| ความแข็งแรงดัด | 50-70 MPa |
| ความทนทานต่อการแตกหัก | 0.7-1.0 MPa·m½ |
| อุณหภูมิการใช้งานสูงสุด | 1000°C (1200°C ระยะสั้น) |
| การนำความร้อน | 1.4 W/m·K |
| การขยายตัวทางความร้อน (20-1000°C) | 0.5 ×10⁻⁶/K |
การกลึงและความทนทาน
แผ่นถูกอัดหรือหล่อแบบเทป เผา จากนั้นเจียระไนผิวและขัด การเจียระไนแบบบางใหญ่มีแนวโน้มที่จะโก่งมากที่สุด ดังนั้นวัสดุจึงถูกเอาออกในปริมาณเท่ากันจากทั้งสองหน้าเพื่อรักษาสมดุลความเค้น และการเจียระไนตามด้วยขั้นตอนการผ่อนคลายก่อนรอบสุดท้าย
ที่ที่ใช้งาน
- แผ่นสึกหรอและบู่ร่องในงานจัดการแบล็ก
- กำแพงกั้นฉนวนไฟฟ้าในอุปกรณ์สวิตช์และเครื่องทำความร้อน
- แผ่นร้อนและเครื่องมืออัดในงานผลิตอิเล็กทรอนิกส์
- พื้นผิวสุญญากาศและการวัดในอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์
- บล็อกอ้างอิงและเกณฑ์ความแม่นยำในงานวัด
คำถามที่พบบ่อย
แผ่นเซรามิกใหญ่สามารถรักษาความราบได้มากแค่ไหน?
0.005 mm ต่อ 100 mm คือมาตรฐานการทำงานสำหรับแผ่นที่ขัด เมื่อพื้นที่ใหญ่กว่ายากขึ้น และเกิน 300×300 mm เรามักระบุความราบเหนือพื้นที่ที่กำหนดแทนที่จะตลอดทั้งแผ่น
มันจะโก่งเมื่อฉันขันสลักหรือไม่?
ได้ แผ่นที่ราบเมื่อไม่ถูกหนีบจะตามพื้นผิวติดตั้งที่บิดเบี้ยว ดังนั้นเราจึงแนะนำพื้นผิวติดตั้งที่เว้า หรือขัด ยึดแน่นด้วยแรงบิดสม่ำเสมอ และชั้นรองรับยืดหยุ่น