Керамические пластины Fused Silica — плоские детали, используемые как износостойкие пластины, изолирующие барьеры, заготовки подложек, распределители тепла и прецизионные опорные поверхности.
Пластины Fused Silica применяют для передачи УФ, смотровых окон и опорных поверхностей с низким расширением. Расширение 0.5 ×10⁻⁶/K сохраняет пластину плоской при изменениях температуры, которые исказили бы любую другую керамику.
Fused Silica расширяется всего на 0.5 ×10⁻⁶/K, поэтому может переходить от раскалённого состояния к холодной воде без растрескивания. Это отличный электрический изолятор, пропускает УФ-излучение, а её аморфная структура даёт очень гладкую непористую поверхность.
Прочность для керамики низкая — 50-70 MPa, а материал относительно мягкий. Выше 1000°C он начинает девитрифицироваться, теряя и прозрачность, и стойкость к тепловому удару.
Характеристики
| Максимальный размер | up to 400×400 mm |
| Толщина | 0.3-30 mm |
| Плоскостность | 0.005 mm per 100 mm |
| Параллельность | 0.01 mm |
| Шероховатость поверхности | Ra 0.4 µm ground, Ra 0.2 µm lapped |
| Отверстия и пазы | ground, drilled or laser cut |
| Кромки | square, chamfered or radiused |
ХарактеристикиFused Silica
| Состав | Amorphous silicon dioxide |
| Плотность | 2.20 g/cm³ |
| Твёрдость по Виккерсу | 600-800 HV |
| Прочность на изгиб | 50-70 MPa |
| Вязкость разрушения | 0.7-1.0 MPa·m½ |
| Максимальная рабочая температура | 1000°C (1200°C short term) |
| Теплопроводность | 1.4 W/m·K |
| Тепловое расширение (20-1000°C) | 0.5 ×10⁻⁶/K |
Обработка и допуски
Пластины прессуют или формуют литьём ленты, обжигают, затем плоско шлифуют и доводят. Тонкие крупные пластины наиболее склонны к короблению, поэтому материал снимают в равных количествах с обеих поверхностей для сохранения баланса напряжений, а шлифование сопровождается этапом релаксации перед финишными проходами.
Области применения
- Износостойкие пластины и футеровки жёлобов в сыпучей обработке
- Электроизоляционные барьеры в распределительных устройствах и нагревателях
- Нагревательные плиты и штамповая оснастка в производстве электроники
- Вакуумные патроны и измерительные поверхности в полупроводниковом оборудовании
- Прецизионные опорные и калибровочные блоки в метрологии
Часто задаваемые вопросы
Насколько плоской можно удержать крупную керамическую пластину?
0.005 mm на 100 mm — рабочий стандарт для доведённых пластин. Большие площади сложнее, и выше 300×300 mm мы обычно задаём плоскостность на определённой площади, а не по всей пластине.
Поведёт ли её, когда я затяну болтами?
Может. Пластина, плоская в свободном состоянии, повторит искажённую монтажную поверхность, поэтому мы рекомендуем облегчённую или доведённую монтажную поверхность, равномерно затянутые крепления и компенсирующий промежуточный слой.