Plat Silika Lebur ialah komponen rata yang digunakan sebagai plat haus, halangan penebat, blok substrat, penyebar haba dan permukaan rujukan ketepatan.
Plat Silika Lebur digunakan untuk penghantaran UV, port tontonan dan permukaan rujukan pengembangan rendah. Pengembangan 0.5 ×10⁻⁶/K mengekalkan plat rata melalui perubahan suhu yang akan memesongkan seramik lain.
Silika lebur mengembang hanya 0.5 ×10⁻⁶/K, jadi ia boleh pergi dari merah membara ke air sejuk tanpa retak. Ia penebat elektrik cemerlang, menghantar UV, dan struktur amorfusnya memberikan permukaan licin tidak berliang.
Kekuatan rendah untuk seramik pada 50-70 MPa dan bahan agak lembut. Melebihi 1000°C ia mula menyeleweng (devitrify), kehilangan kedua-dua ketelusan dan rintangan kejutan terma.
Spesifikasi
| Saiz maksimum | hingga 400×400 mm |
| Ketebalan | 0.3-30 mm |
| Kekapalan | 0.005 mm per 100 mm |
| Keselarian | 0.01 mm |
| Kekasaran permukaan | Ra 0.4 µm digiling, Ra 0.2 µm dilap |
| Lubang dan alur | digiling, ditebuk atau dipotong laser |
| Tepi | siku, chamfer atau berjejari |
Spesifikasi Fused Silica
| Komposisi | Silikon dioksida amorfus |
| Ketumpatan | 2.20 g/cm³ |
| Kekerasan Vickers | 600-800 HV |
| Kekuatan lentur | 50-70 MPa |
| Keretanan patah | 0.7-1.0 MPa·m½ |
| Suhu perkhidmatan maksimum | 1000°C (1200°C jangka pendek) |
| Kekonduksian terma | 1.4 W/m·K |
| Pengembangan terma (20-1000°C) | 0.5 ×10⁻⁶/K |
Pemesinan dan toleransi
Plat ditekan atau dicurah tape, dibakar, kemudian digiling permukaan dan dilap. Plat nipis besar paling cenderung melengkung, jadi bahan dibuang dalam jumlah sama dari kedua-dua muka untuk mengekalkan tegasan seimbang, dan pengilangan diikuti langkah relaksasi sebelum laluan akhir.
Di mana ia digunakan
- Plat haus dan pelapik palung dalam pengendalian pukal
- Halangan penebat elektrik dalam peralatan suis dan pemanas
- Plat panas dan perkakas tekan dalam pembuatan elektronik
- Permukaan vakum chuck dan metrik dalam peralatan semikonduktor
- Blok rujukan dan tolok ketepatan dalam metrologi
Soalan lazim
Sejauh manakah plat seramik besar boleh dikekalkan rata?
0.005 mm per 100 mm ialah standard kerja untuk plat yang dilap. Kawasan lebih besar lebih sukar, dan melebihi 300×300 mm kami lazimnya menentukan kekapalan ke atas kawasan tertentu dan bukannya seluruh plat.
Adakah ia akan melengkung bila saya bautkan?
Boleh. Plat yang rata bila tidak diapit akan mengikuti muka pemasangan yang terpesong, jadi kami syorkan permukaan pemasangan yang dilegakan atau dilap, pemasangan ditork secara sekata dan lapisan sederhana.